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高速小型復合分子泵

文章來源:院軍轉民發展部   時間:2018-5-7 15:01:00 訪問數:

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  1、成果名稱

  高速小型復合分子泵。

  2、成果簡介

  分子泵是科學儀器的關鍵功能部件,為儀器提高潔凈的超高真空環境,具有抽氣性能高、氣氛潔凈、可連續工作等優點。隨著科學技術的迅速發展,科學儀器對分子泵的體積、抽氣性能、振動、噪聲和可靠性等提出了嚴苛的要求。目前,儀器專用的小型復合分子泵被國外少數公司壟斷,價格高、供貨周期長,嚴重制約了國產儀器的可持續發展。在國家重大科學儀器設備開發專項的資助下,中物院六所聯合國內優勢高校和專業儀器開發企業,組建了一流的技術研發隊伍,攻克了無位置傳感器高速永磁電機驅動、柔性轉子高速穩定性控制、陶瓷球軸承延壽等關鍵技術,研制了無位置傳感器高速永磁電機控制器、粘彈性減振墊、陶瓷球軸承微油潤滑組件等關鍵部件,開發了DN63型、DN40型和多口型復合分子泵樣機。經過第三方測試,綜合性能達到國際先進水平。在多家儀器廠家進行了運行試驗,真空度、穩定性、振動和噪聲等指標均滿足應用要求,可以替代進口產品。  

高速小型復合分子泵

  3、技術特征

  1.  轉速高,分子泵工作轉速最高可達90000/分鐘,強大抽氣性能的保障;

  2.  永磁軸承-陶瓷球軸承混合支承,動葉輪運轉穩定,振動小、噪聲低;

  3.  超高速無位置傳感器永磁電機,獨有的控制策略,升速快、轉速穩;

  4.  整體動葉輪,結構緊湊、無裝配應力;

  5.  嚴苛的裝配環境,完備的恒溫、恒濕、潔凈裝配間;

  6.  嚴格的質量保障體系,每臺泵和控制器都滿速運行檢測;

  7.  與儀器無縫集成,分子泵的啟停、調速、狀態監測等可由儀器控制。

  4、在國產儀器上應用  

高速小型復合分子泵  高速小型復合分子泵

    (安徽皖儀 高性能氦質譜檢漏儀)  高速小型復合分子泵

    (杭州聚光色譜-質譜聯用儀GC-MS  

高速小型復合分子泵  

  質量范圍10650amu  

高速小型復合分子泵

  (鋼研納克 電感耦合等離子體質譜儀ICPMS300  

高速小型復合分子泵

    質量范圍2255amu

  

  

  

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